Durch diese Methode lässt sich die chemische Zusammensetzung der Probe bestimmen. Die freigesetzte charakteristische Röntgenstrahlung, die beim Abrastern der Probe entsteht, kann mit einem EDX Detektor identifiziert und dem jeweiligen Element zugeordnet werden. Gängige Methoden sind die Punkt, - Flächen oder auch Linienanalyse. Bei der Partikelanalyse werden die Partikel morphologisch und chemisch erfasst und klassifiziert.