Dieses Prüfverfahren ermöglicht die schnelle qualitative als auch quantitative Analyse der chemischen Zusammensetzung von Materialien. Neben der Möglichkeit feste, Pulver und flüssige Proben zu untersuchen, ist auch der Nachweis von Verunreinigungen auf Bauteilen möglich. Bei dieser Analyse wird die Probe mit einem hochenergetischen Röntgenstrahl bestrahlt. Während einige der Röntgenstrahlen von der Probe gestreut werden, werden einige von den Atomen in der Probe absorbiert und die Atome beginnen, fluoreszierendes Licht zu emittieren.